■ ご紹介

K-PICは、Particle-In-Cell（セル内粒子）法に基づいて、超高真空から数Torrまでの圧力範囲でのCCPおよびICP装置のプラズマ分析を行うために設計されたソフトウェアです。K-PIC は、使いやすい GUI と、さまざまな分析ツールを提供します。

■ 主な特長

・粒子の動きを直接解く Particle-in-Cell（PIC）シミュレーション ソフトウェア
・荷電粒子の運動を直接計算することにより高精度化
・ラグランジュ スキームにより、非線形で時間依存な現象の実装を可能に
・HARC プロセスで必要とされる低真空および高電圧プロセス条件下での高い予測力

■ 計算速度

K-PIC は、Graphic Processing Unit による高速並列化により、PIC (Particle-in-Cell) シミュレーションの計算速度を飛躍的に向上します。

■ 計算例

■ 計算例